如何改变mask图形相对波长的比例大小

[sure6626]

您好，请问如何改变mask中图形线宽与波长的比例，因为相同波长下，mask线条宽窄与波长的比例不同，ilt的结果也会不同

[shelljane]

因为使用的是固定的光源，所以波长无法改变。如果希望变光源，可以参考我们组另一个工作TorchLitho。